Laboratórium uhlíkových nanoštruktúr a grafénových vrstiev

Laboratórium uhlíkových nanoštruktúr a grafénových vrstiev
Fakulta Elektrotechniky a informatiky STU

Ústav:                  Ústav elektroniky a fotoniky
Kontaktná osoba:  Ing. Marián Vojs, PhD.
Kontakt:               02-6029 1367
e-mail:                  marian.vojs@stuba.sk

Charakteristika:

Technické vybavenie/zariadenia

• SEM Cold Cathode Microscope JEOL JSM 7500

• Raman Spectrometer (ISA-Jobin Yvon-Dilor-Horiba, 633 nm)

• AUTOLAB PGSTAT128N with automatic Dosino system

• RF RIE etching system Plasma PE 200

• Linear antenna microwave CVD reactor, low temp large area (20x30cm) deposition (Scia systems)

• Hot Filament CVD diamond reactor (home-made)

• Microwave/Hot Filament CVD diamond reactor (home-made)

• Arc Discharge Reactor for CNT Growth (home-made)

• CVD Reactor for CNT Growth (home-made)

• RTA - Rapid Thermal Annealing (home-made)

• Evaporation equipment for thin films deposition (home-made)

• Contact Angle Measurement System (home-made)

• Helium leak detector HLT570 (Pfeiffer vacuum)

 Technológie

• Depozícia intrinzických a bórom dopovaných mikro- nano-diamantových vrstiev, uhlíkových nanorúrok, grafénových nanostien, DLC vrstiev

• Čistenie odpadových vôd, odtokov, bazénov pokročilými elektrochemickými oxidačnými metódami

• Výroba elektród a systémov pre elektrochemickú analýzu a degradáciu

• Elektrochemická analýza roztokov (ťažké kovy, biomolekuly, liečivá, drogy)

• Vákuové naparovanie a naprašovanie tenkých vrstiev kovov

• Plazmatické leptanie v RF a DC plazme

• Teplotné žíhanie do 800°C (RTA) vo vákuu alebo plynnej atmosfére

Servis/služby

• Analýza materiálov metódami SEM a Ramanovej spektroskopie

• Hľadanie a odstránenie vákuových netesností

• Odborné poradenstvo a služby v oblasti vákuových technológií a nanotechnológií

Vzdelávanie 

• Komplexný vzdelávací proces zameraný na fyziku vákua a vákuové technológie a nanotechnológie

 

Fotografie:

Obr.1: CVD reaktor na veľkoplošnú depozíciu uhlíkových nanomateriálov

Obr.2: Pripravené uhlíkové nanomateriály - diamantová vrstva, grafénové nanowally, uhlíkové nanorúrky, štrukturovaná diamantová vrstva