Laboratórium tenkovrstvových senzorických štruktúr

Laboratórium tenkovrstvových senzorických štruktúr
Fakulta Elektrotechniky a informatiky STU

Ústav:                  Ústav elektroniky a fotoniky
Kontaktná osoba:  Prof. Ing. Ivan Hotový, DrSc.
Kontakt:               02-6029 1594
e-mail:                  ivan.hotovy@stuba.sk

Charakteristika:

Technické vybavenie/zariadenia

• Zariadenie na meranie a testovanie smart senzorov: PLV 50 (Cascade) s príslušenstvom

• Depozičné zariadenia s magnetrónovými zdrojmi (Balzers)

• Depozičné a leptacie zariadenie typu PE CVD, CVD/ICP, RIE, RIE/ICP. Vakutec 310/320 (FHR)

• Expozičné zariadenie pre optickú litografiu: KSM MJB 3HP (Karl Suss),

Technológie

• Naparovacie a naprašovacie technológie na návrh, simuláciu, experimentálnu prípravu  a vývoj tenkovrstvových senzorických štruktúr a mikrosystémov.

Servis/služby

• Testovanie elektrických vlastností senzorov a mikrosystémov vo vákuu a pri zvýšených teplotách do 300°C

• Plazmatické leptanie a tvarovanie nanoštruktúrnych motívov s výkonným ICP zdrojom

Vzdelávanie

• Vzdelávanie v oblasti moderných technológií prípravy a leptania vrstiev a v oblasti návrhu a vývoja senzorov a mikrosystémov.

 

Fotografie:

Obr.1: Systém na meranie plynov

Obr.2: Nanoštruktúrovaný povrch senzora

Obr.3: Riadiaci a merací elektronický systém